铝瓶-取样瓶双阀
七氟丙烷CF3CHFCF
三甲基铝TMAI
正硅酸乙酯TEOS
四氯化钛TiCI4
八氟环丁烷C4F8
氟化氢
氯化氢 HCl
硒化氢
氘气
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